用途:用于各類智能設備VCM模組的氣密測試
配置:單臺設備搭配2臺治具,單治具6個穴,總共12個穴
并行測試:12個測試穴位同時測試,實現(xiàn)更高的UPH
UPH: 3000(測試時間7S)
特征:
測試壓力:0.15bar
測試規(guī)格:0.4sccm
測試時間:7s(3s FILL + 0.5s STA + 3s TEST + 0.5s DUMP)
自動模式:生產(chǎn)、AAB Retest、GRR、Audit
測試儀器:CTS、ATEQ ……
兼容性:更換治具和產(chǎn)品相關,可快速切換不同產(chǎn)品測試
自動點檢功能,確保測試系統(tǒng)長期穩(wěn)定性